產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
Verifire? Asphere?激光干涉儀在ZYGO工業(yè)級Metropro軟件平臺上運行。除了具有測量非球面的能力,還能作為平面、非球面和曲率半徑測量的立體終端。Verifire? Asphere?激光干涉儀先進的軟件功能對五軸電動樣品臺的控制能夠?qū)Ψ乔蛎孢M行快速方便的調(diào)整。被測件的自動調(diào)整和數(shù)據(jù)自動采集和分析等功能使Verifire? Asphere系統(tǒng)成為用戶理想的產(chǎn)品測量解決方案。
詳情介紹:
Verifire? Asphere?非球面檢測激光干涉儀 - ZYGO****的上乘結(jié)合
快速,非接觸,高精度的非球面3D測量激光干涉儀Verifire? Asphere – 運用磚利的非接觸干涉技術(shù),在生產(chǎn)和質(zhì)量控制中,對非球面進行高精度、定量、三維的表面形貌測量。 基于ZYGO的兩個核心技術(shù)和磚利的多域測量方式,開發(fā)出的系統(tǒng)可以對非球面進行高精度的測量。系統(tǒng)中多個方向軸均為電動控制,能夠?qū)崿F(xiàn)自動調(diào)整、自動采集數(shù)據(jù)和自動進行數(shù)據(jù)分析,*后得到快速、高精度、定量的非球面面形測量。
Verifire? Asphere系統(tǒng)是由Verifire? AT斐索型激光干涉儀和ZMI510位移干涉儀組成。線性位移干涉儀的兩個軸跟蹤被測件沿著光軸方向的運動,并且每2.5nm掃描一次,Verifire? AT斐索型激光干涉儀上的高分辨率1K×1K CCD使得每次掃描得到高于70萬個數(shù)據(jù)點。Verifire? AT主機如果配備Ring of Fire?擴展光源,則表現(xiàn)出更高精度的干涉測量能力。根據(jù)被測件的直徑大小,Verifire? Asphere系統(tǒng)可以配置4英寸或6英寸的Verifire? AT索菲型激光干涉儀主機。
快速,非接觸,高精度的非球面3D測量激光干涉儀Verifire? Asphere – 運用磚利的非接觸干涉技術(shù),在生產(chǎn)和質(zhì)量控制中,對非球面進行高精度、定量、三維的表面形貌測量。 基于ZYGO的兩個核心技術(shù)和磚利的多域測量方式,開發(fā)出的系統(tǒng)可以對非球面進行高精度的測量。系統(tǒng)中多個方向軸均為電動控制,能夠?qū)崿F(xiàn)自動調(diào)整、自動采集數(shù)據(jù)和自動進行數(shù)據(jù)分析,*后得到快速、高精度、定量的非球面面形測量。
Verifire? Asphere系統(tǒng)是由Verifire? AT斐索型激光干涉儀和ZMI510位移干涉儀組成。線性位移干涉儀的兩個軸跟蹤被測件沿著光軸方向的運動,并且每2.5nm掃描一次,Verifire? AT斐索型激光干涉儀上的高分辨率1K×1K CCD使得每次掃描得到高于70萬個數(shù)據(jù)點。Verifire? AT主機如果配備Ring of Fire?擴展光源,則表現(xiàn)出更高精度的干涉測量能力。根據(jù)被測件的直徑大小,Verifire? Asphere系統(tǒng)可以配置4英寸或6英寸的Verifire? AT索菲型激光干涉儀主機。