NewView? 9000 Series3D光學(xué)輪廓儀
主要特點:
?高靈敏度1.9 MP傳感器
?快速非接觸式測量
?**的可視化3D表面
?亞埃級精度
?超精密&計量能力
?增強光學(xué)成像
?自動零件定位
NewView? 9000 3D光學(xué)輪廓儀提供了強大、多功能的非接觸式光學(xué)表面分析。它可以簡單和快速地測量各種表面類型,包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、無需樣品制備的。
ZYGO相干掃描干涉技術(shù)(CSI)是系統(tǒng)的核心技術(shù),在所有放大倍數(shù)下實現(xiàn)亞納米的精度,并且能夠快速準(zhǔn)確的測試各種樣品表面,為客戶提供高投資回報率的體驗。
性能,價值和多樣性
靈活性是ZYGO NewView產(chǎn)品的標(biāo)志。NewView 9000光學(xué)輪廓儀提供多樣化的應(yīng)用,包括平面度,粗糙度和波紋度,薄膜,臺階高度和更多應(yīng)用。
所有NewView 9000輪廓儀都配備一個3位變焦塔臺,可以為系統(tǒng)自動切換不同倍率的分立變焦。樣品臺可選配手動型或全自動編碼型。
所有NewView 9000輪廓儀系統(tǒng)都提供高精度測量,易于使用和快速測量,價格吸引人,在通用性和應(yīng)用價值方面使其成為3D光學(xué)輪廓儀的理想選擇。
以下差異化特性實現(xiàn)用戶計量更好、更快和更可靠:
? 大面積1.9 MP傳感器:高靈敏度,在單次測量中獲取更多的信息
? 高速測量:只需幾秒時間,優(yōu)化的測試能力和程序控制
? 自動零件聚焦和定位:減少操作員測試差異,提高培訓(xùn)和測試效率
? 重復(fù)性特征:優(yōu)異的測量精度和可重復(fù)性,為高要求的生產(chǎn)應(yīng)用提供服務(wù)
? 抗震測量:SureScan?抗震技術(shù)和集成式抗震平臺使系統(tǒng)在震動環(huán)境下也可實現(xiàn)高精度計量
? SmartPSI?技術(shù):對超光滑表面進(jìn)行快速分析測量
? 2D和3D的相關(guān)性:測量結(jié)果遵循ISO 25178和ISO 4287標(biāo)準(zhǔn)。
? Mx?軟件:實現(xiàn)儀器控制、分析和測量自動化
先進(jìn)的分析&控制軟件
NewView9000光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)
NewView 9000輪廓儀使用ZYGO Mx?軟件,支持完整系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析,包括豐富的交互式3D繪圖,量化的形貌信息,直觀的測量導(dǎo)航以及內(nèi)置的SPC統(tǒng)計,質(zhì)量控制圖,通過/失敗限制設(shè)置。
? 交互式3D繪圖 –縮放,平移,旋轉(zhuǎn),并實時更新結(jié)果。
? 靈活分析 –廣泛的定量分析結(jié)果,包括數(shù)據(jù)視圖和過濾器。
? 直觀的用戶界面 –易于學(xué)習(xí)和使用的流程界面設(shè)計。
? 內(nèi)置SPC分析工具 –跟蹤結(jié)果,監(jiān)控合格/不合格的標(biāo)準(zhǔn),跟蹤處理數(shù)據(jù)。
還有滿足特殊應(yīng)用需求的應(yīng)用程序模塊,如透明薄膜的樣品測量,2D圖像分析等。
靈活的配置
開放的工作區(qū)域使視野更清晰操作更便捷
NewView 9000輪廓儀的工作區(qū)域功能開放,界面條理清晰,使測量設(shè)置和轉(zhuǎn)換簡單&快速。系統(tǒng)可以配備多種樣品平臺,從手動型到全自動型,150毫米XY平移和4度俯仰傾斜。可選集成式的抗震平臺,緊湊的尺寸,使它非常適合于臺式安裝,結(jié)合可選的工作臺使其成為理想的生產(chǎn)型測試系統(tǒng)。