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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:多表面測量

    • 產(chǎn)品型號:Verifire? MST
    • 產(chǎn)品廠商:美國ZYGO
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    只要一次數(shù)據(jù)采集,就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度,同時還能得到平行平板的光學(xué)厚度
    詳情介紹:

    Verifire? MST多表面測量

    Verifire? MST激光干涉儀提供了一個****的嶄新的測量方式和能力,傳統(tǒng)的激光干涉儀應(yīng)用是測量兩個面的波前變化,也就是說測量一個由兩個面所形成的腔。但是,如果所測量的是一個沒有經(jīng)過鍍膜的平行平板,則就會產(chǎn)生兩個疊加的干涉條紋(三個面的腔所形成),這樣就會干擾標準的位相干涉測量分析。現(xiàn)在,ZYGO的Verifire? MST激光干涉儀解決了這一個問題,通過波長調(diào)制技術(shù)和ZYGO新的傅立葉變換方法,可以進行三個甚至四個平行面的測量,不僅可以顯示所有的面,并且可以排除其他的面而單獨顯示你所需要的面。

    三平面干涉測量

    激光干涉儀可以在你的測量中,只要一次數(shù)據(jù)采集,就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度,同時還能得到平行平板的光學(xué)厚度:

    ?前表面形貌圖

    ?光學(xué)厚度變化

    ?物理厚度變化和后表面形變

    四表面干涉測量

    這一技術(shù)能夠通過兩次數(shù)據(jù)采集得到下列結(jié)果:

    ?前表面和后表面的形貌圖

    ?物理厚度變化

    ?光學(xué)厚度變化

    ?折射率變化
    -非線性材料均勻性
    -線性材料均勻性

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