Form Talysurf PGI Freeform
全自動化的快速、**的系統(tǒng),用于自由曲面光學元件測量
全新的Form Talysurf PGI Freeform是一個多功能、高分辨率的系統(tǒng),專門用于測量高精度自由曲面光學元件。
提供三維光柵/徑向測量和分析:
*球面 *非球面 *衍射 *自由曲面
Form Talysurf PGI Freeform可以使用許多用于自由曲面定義的*新公式,例如:
*環(huán)面 *NURBS
*雙錐 *Zernike
*不對稱非球面 *點云
*橢圓面 *A-Cylinder
測量完整性和可再現(xiàn)性:
Taylor Hobson的Form Talysurf數(shù)十年的測量經驗、超精密的制造技術和FEA優(yōu)化設計為PGI Freeform打下了堅實的基礎。這些提供了測量軸的低噪音和接近上乘的機械執(zhí)行。
通過新的專用軟件界面,可以輕松設置和分析**的自由曲面測量。Form Talysurf PGI Freeform使其成為完整的光學計量解決方案。
設計用于快速而**地測量研磨、慢速或快速刀具伺服和MRF生成的表面。
測量儀量程: *長28mm
分辨率: 0.8nm
坡度: 斜度*大50度
三維形狀誤差: 150-250nm
值得信賴的結果
三維校準功能提供****的測量:
三維校準程序
達到光學級精度的**三維測量不能通過簡單地添加一個Y軸臺來實現(xiàn)
*獨特、新型的真正三維校準
*非機械方式可實現(xiàn)的對齊誤差校正
*是**的三維測量的關鍵
*典型形狀誤差:
《500nm,無三維校準
《150nm,有三維校準
測量和分析:
完整的三維測量實現(xiàn)**的表面分析:
*容易定義測量設置
*三維點云原始表面
*專用自由曲面分析實用工具允許將原始表面與設計進行對比
*殘余表面顯示形狀誤差
*輸出殘余表面用于與制造過程連接